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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
GC Pure系列
产品简介
GC Pure系列载气纯化器由纯化单元和电控单元两部分所组成。纯化单元主要由吸气剂(Getter)单元、气体管路和加热器所组成。纯化器采用化学反应的方法在高温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC, N2等杂质去除到10ppb以下,并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为1微米的颗粒过滤器。电控部分负责控制纯化器的温度和安全报警等过程,确保纯化器能够持续安全稳定地运行。
产品特点
- 可以从稀有气体和氮气中去除甲烷
- 可以从稀有气体和氢气中去除氮气
- 气电分离设计,稳定可靠
- 内设高低温报警
- 带数字PID控温的加热器
- 自动故障检测,抗干扰性强
纯化指标
气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
稀有气体 -R | Ar, He, Xe, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC, N2 | <10ppb |
氢气 -H | H2 | H2O, O2, CO, CO2, NMHC, N2 | |
氮气 -N | N2 | H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体,更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
产品型号 | 常规流量 (sccm) |
最大压力 (MPa) |
最大压差 (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
电压 | 进/出气口接头 | L1 (mm) |
D1 (mm) |
GC Pure-1 | 500 | 1.0 | 0.1 | 1 | 110V | 1/8” 卡套 | 319 | 163 |
GC Pure-2 | 500 | 1.0 | 0.1 | 1 | 220V | 1/8” 卡套 | 319 | 163 |
表格中仅列出标准流量、指标和配置,更多特殊要求请与先普联系。
产品应用
- 分析仪器零点气纯化
- 色相色谱仪载气纯化,如PDD、PDHID、TCD、FID、PED、RGD等检测器色谱仪