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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
P9系列
产品简介
P9系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去除到1ppb以下，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003um的颗粒过滤器。
产品特点
- 采用常温催化剂技术，可在常温下使用
- 出口气体各杂质含量小于1ppb
- 316L SS纯化罐
- 内置316L SS过滤器
- 可配置两阀、三阀和四阀等阀门组件
- 使用成本低，可以由原厂再生
- 提供出厂水，氧检测报告
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 惰性气体 -I | N2, Ar, He, Xe, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC | <1ppb |
| 氧气 -O | O2, CDA | H2O, CO2, NMHC | |
| 氢气 -H | H2 H2与惰性气体混合气 |
H2O, O2, CO, CO2, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量 (slm) |
最大流量 (slm) |
最大压力 (MPa) |
最大压差* (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
进/出气口接头 | 进出气口距离 L |
纯化器外径 D |
| P9-002 | 2 | 5 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/4” MVCR | 3.3” (84mm) |
1.5” (38.1mm) |
| P9-004 | 4 | 10 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/4” MVCR | 4.5” (114mm) |
1.5” (38.1mm) |
| P9-025 | 25 | 60 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/4” MVCR | 6.3” (160mm) |
2” (50.8mm) |
| P9-040 | 40 | 100 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/4” MVCR | 12.5” (317.5mm) |
2” (50.8mm) |
| P9-060 | 60 | 150 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/4” MVCR | 10” (254mm) |
3” (76.2mm) |
| P9-150 | 150 | 300 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/4” MVCR | 20.0” (508mm) |
3” (76.2mm) |
| P9-260 | 250 | 500 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/2” MVCR | 20.0” (508mm) |
4” (101.6mm) |
| P9-500 | 500 | 800 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/2” MVCR | 30.9” (785mm) |
4” (101.6mm) |
| P9-900 | 900 | 1500 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/2” MVCR | 28.2” (716mm) |
6” (152.4mm) |
| P9-1800 | 1800 | 3000 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 3/4” MVCR | 50.8” (1290mm) |
6” (152.4mm) |
表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
*在常规流量和最大压力的情况下。
产品应用
- 集成电路制造
- 半导体分立器件制造
- 硅片、衬底、外延片生产
- LED、激光器制造
- 高效太阳能电池生产
- 光纤预制棒生产
- 众多半导体工艺设备配套
- 超高纯气体、混合气体和标准气体生产
- 吹扫气体、载气及零点气体纯化
- 大学和研究所等科研机构产品研发
