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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
7NK HP/UP系列
产品简介
7NK HP/UP系列半自动再生纯化系统由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由催化剂纯化单元和一系列气动阀门、气体管路和散热器所组成。纯化系统采用化学反应与物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, NMHC, H2等杂质去除到5ppb以下。电控部分负责控制系统的再生和安全报警等过程，确保纯化器能够持续安全稳定地运行。
产品特点
- 常温下使用
- 出口气体中各杂质含量小于5ppb
- 316L SS纯化罐
- 单路纯化设计，超高性价比
- 一键启动再生，全程自动运行，简单实用
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 惰性气体 -I | N2, Ar, He, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC | <5ppb |
| 氧气 -O | O2, CDA | H2O, CO2, NMHC | |
| 氢气 -H | H2 | H2O, O2, CO, CO2, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量 (Nm3/h) |
最大压力 (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
进/出气口接头 | 机柜尺寸 WxDxH(mm) |
| 7NK010-030 HP | 10, 20, 30 | 18 | 1 | 1/4” VCR | 650x685x1690 |
| 7NK040 HP | 40 | 18 | 1 | 1/4” VCR | 650x685x1840 |
| 7NK060-080 HP | 60, 80 | 18 | 1 | 1/2” VCR | 1000x685x1840 |
| 7NK015-050 UP | 15, 25, 50 | 24 | 1 | 1/4” VCR | 650x685x1840 |
| 7NK075-100 UP | 75, 100 | 24 | 1 | 1/2” VCR | 1000x685x1840 |
表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
产品应用
- 标准气体平衡气纯化
- 混合气体生产
- 电子气体生产
- 超纯氮、氩、氦、氢等气体生产
