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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
7NP系列
产品简介
7NP系列经济型气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的方法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, NMHC等杂质去除到5ppb以下，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为1微米的颗粒过滤器。
产品特点
- 常温下使用
- 流量范围30-1200slm
- 出口气体各杂质含量小于5ppb
- 内置1微米316L SS过滤器
- 316L SS纯化罐
- 可配置两阀、三阀和四阀等阀门组件
- 可以由原厂再生
- 使用成本低
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 惰性气体 -I | N2, Ar, He, Xe, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC | <5ppb |
| 氧气 -O | O2, CDA | H2O, CO2, NMHC | |
| 氢气 -H | H2 H2与惰性气体混合气 |
H2O, O2, CO, CO2, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量 (slm) |
最大流量 (slm) |
最大压力 (MPa) |
最大压差* (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
进/出气口接头 | 进出气口距离 L |
纯化器外径 D |
| 7NP020 | 30 | 75 | 1.0 | 0.1 | 1 | 1/4” 卡套 | 12.1” (308mm) |
2” (50.8mm) |
| 7NP100 | 150 | 300 | 1.0 | 0.1 | 1 | 1/4” 卡套 | 20.0” (508mm) |
3” (76.2mm) |
| 7NP400 | 400 | 600 | 1.0 | 0.1 | 1 | 1/2” MVCR | 23.9” (608mm) |
4” (101.6mm) |
| 7NP800 | 800 | 1200 | 1.0 | 0.1 | 0.003 | 1/2” MVCR 1/2” FVCR |
2.6” (67mm)** |
6” (152.4mm) |
表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
*在常规流量和最大压力的情况下。
**7NP800进出气口在同一侧。
产品应用
- 大宗气体纯化
- 高效太阳能电池生产
- 高纯气体管道工程焊接与吹扫
- 超高纯气体、混合气体和标准气体生产
- 吹扫气体、载气及零点气体纯化
- 大学和研究所等科研机构产品研发
