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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
9NG系列
产品简介
9NG系列高性能气体纯化器由气路和电控两部分所组成。气路部分主要由吸气剂(Getter)纯化单元和一系列阀门、气体管路和散热器所组成。纯化器可配置过滤精度为0.003微米的颗粒过滤器，采用化学反应的方法在高温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC, N2等杂质去除到1ppb以下。电控部分负责控制系统的温度和安全报警等过程，确保纯化器能够持续安全稳定地运行。
产品特点
- 流量范围1slm-720Nm3/h
- 出口气体中各杂质含量小于1ppb
- 可以从稀有气体和氮气中去除甲烷
- 可以从稀有气体和氢气中去除氮气
- 可配置0.003微米过滤器
- 316L SS EP纯化罐
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 稀有气体 -R | Ar, He, Xe, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC, N2 | <1ppb |
| 氢气 -H | H2 | H2O, O2, CO, CO2, CH4, NMHC, N2 | |
| 氮气 -N | N2 | H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量 | 最大压力 (MPa) |
最大压差 (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
| 9NG001-030 | 1, 5, 30slm | 1.0 | 0.1 | 0.003 |
| 9NG150-1000 | 10, 20, 30, 60Nm3/h | 1.0 | 0.1 | 0.003 |
| 9NG2000-8500 | 120, 200, 240, 360, 500Nm3/h |
1.0 | 0.1 | N/A |
| 9NG10000-12000 | 600, 720Nm3/h | 1.0 | 0.1 | N/A |
表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
产品应用
- 大规模集成电路制造
- 半导体分立器件制造
- 大尺寸硅片、衬底、外延片生产
- LED、激光器制造
- 高效太阳能电池生产
- 光纤预制棒生产
- 众多半导体工艺设备配套
- 超高纯气体、混合气体和标准气体生产
- 吹扫气体、载气及零点气体纯化
- 大学和研究所等科研机构产品研发
