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先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
9NP HP系列
产品简介
9NP HP系列高性能气体纯化器采用的是常温催化剂技术，通过化学反应和物理吸附相结合的办法在常温下将工艺气体中的H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC等杂质去 除到1ppb以下，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为0.003um的颗粒过滤器。
产品特点
- 常温下使用
- 出口气体各杂质含量小于1ppb
- 内置0.003微米316L SS过滤器
- 316L SS EP纯化罐，100%经过氦检漏
- 可配置两阀、三阀等阀门组件
- 可以由原厂再生
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 惰性气体 -I | N2, Ar, He, Ne, Kr | H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC | <1ppb |
| 氧气 -O | O2, CDA | H2O, CO2, NMHC | |
| 氢气 -H | H2 | H2O, O2, CO, CO2, NMHC |
*表格中仅列出典型的气体类型和常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量* (slm) |
最大压力* (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
进/出气口接头 | 进出气口距离 L |
纯化器外径 D |
| 9NP030 HP | 30 | 18 | 0.003 | 1/4” (MVCR) |
9.3” (238mm) |
2.5” (64mm) |
| 9NP100 HP | 100 | 18 | 0.003 | 1/4” (MVCR) |
13.9” (352mm) |
2.5” (64mm) |
*表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
产品应用
- 标准气体平衡气纯化
- 混合气体生产
- 电子气体生产
- 超纯氮、氩、氦、氢等气体生产
