产品中心
先普16年国产化经验
专注为半导体行业提供ppb级别气体纯化产品
GC Fire系列
产品简介
GC Fire系列烷烃燃烧器由纯化单元和电控单元两部分所组成。纯化单元主要由催化剂(Catalyst)单元、气体管路和加热器所组成。纯化器采用催化的方法在高温下将含氧气体中的碳氢化合物转换成H2O和CO2，从而达到将碳氢化合物去除到小于10ppb以下的目的，并且在316L不锈钢罐体中内置了过滤精度为1微米的颗粒过滤器。电控部分负责控制纯化器的温度和安全报警等过程，确保纯化器能够持续安全稳定地运行。
产品特点
- 气电分离设计，稳定可靠
- 内设高低温报警
- 带数字PID控温的加热器
- 自动故障检测，抗干扰性强
- 使用简单，成本低廉
纯化指标
| 气体类型* | 可纯化气体* | 去除杂质 | 纯化指标 |
| 含氧气体 | O2,CDA | THC | <10ppb |
*表格中仅列出常见的可纯化气体，更多气体纯化应用请与先普联系。
型号说明
| 产品型号 | 常规流量 (slm) |
最大压力 (MPa) |
最大压差 (MPa) |
颗粒过滤器 (μm) |
电压 | 进/出气口接头 | L1 (mm) |
D1 (mm) |
| GC Fire-1 | 1 | 1.0 | 0.1 | 1 | 110V | 1/8” 卡套 | 319 | 163 |
| GC Fire-2 | 1 | 1.0 | 0.1 | 1 | 220V | 1/8” 卡套 | 319 | 163 |
表格中仅列出标准流量、指标和配置，更多特殊要求请与先普联系。
产品应用
- 分析仪器零点气纯化
- 色相色谱仪载气纯化，如PDD、PDHID、TCD、FID、PED、RGD等检测器色谱仪